Хотя традиционные технологии химического и плазменного травления дают высококачественный результат, они часто являются медленными и сложными. К тому же при применении в фотонике, предполагающей, что чувствительные оптические устройства встроены в кремниевые подложки, травление часто невозможно и не рекомендовано. Короткоимпульсные УФ-лазеры обеспечивают быстрые и гибкие альтернативы для создания широкого диапазона трехмерных применений.

УФ-лазеры являются оптимальными для задачи структурирования большой области и 3D-микрообработки. Усовершенствованные технологии обеспечивают однородное и четко очерченное распределение плотности потока энергии.

Это приводит к точному контролю объема материала, удаляемого за один импульс, обеспечивая обработку с высоким разрешением и отличное качество поверхности.

Микрообработка полимеров

microfluidicГальванометрическое сканирование в сочетании с высокоскоростным импульсным лазером позволяет получать геометрию сложных форм.

Микрожидкостный канал, показанный справа, обрабатывается как поликарбонатный компонент.

Система: микрожидкостное сверление

Лазеры: ультрафиолетовые наносекундные импульсные лазеры, наносекундные импульсные лазеры с зеленым излучением, 10-пикосекундные импульсные лазеры

Микрофрезерование керамики

ceramic cuttingНаши системы могут выполнять тепловое микрофрезерование керамики, резку и скрайбирование материалов толщиной до 1 мм с субмикронной точностью размещения и размеров. Здесь мы представляем претенциозные канавки в керамическом цилиндре.

Система: микрообработка керамики

Лазеры: ультрафиолетовые наносекундные импульсные лазеры, наносекундные импульсные лазеры с зеленым излучением, 150-пикосекундные импульсные лазеры, 10-пикосекундные импульсные лазеры

Микрофрезерование металла

microfrezПример показывает обработку канавок ~ 30 мкм шириной и глубиной на молибденовой пластине с помощью пикосекундного лазера.

Система: разделение полупроводниковой пластины на кристаллы

Лазеры: ультрафиолетовые наносекундные импульсные лазеры, наносекундные импульсные лазеры с зеленым излучением, 150-пикосекундные импульсные лазеры, 10-пикосекундные импульсные лазеры